六氟化钨，分子式为WF6，分子量为297.830。无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。主要用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂。健康危害，侵入途径：吸入、食入。健康危害：遇潮湿、空气或水分解，散发也剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。该品对眼睛、皮肤和粘膜能引起非常严重的烧伤。毒理学资料及环境行为毒性：具有剧烈刺激性。危险特性：能与许多物质发生化学反应。遇潮气、空气或水解，放出剧毒的腐蚀性氟化氢气体。腐蚀性很强，能侵蚀几乎所有的金属，能迅速腐蚀湿的玻璃。燃烧（分解）产物：氟化氢。泄漏应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别推荐的化学防护服（完全隔离）。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发（或扩散），但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内，抽排（室内）或强力通风（室外）。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
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