氢化锗(Germane),也称为锗烷,是一种化学试剂、可用于制取高纯度锗。分子式为GeH4,分子量为76.63。锗烷在常温常压下为具有不愉快刺激臭的无色有毒气体。在室温稳定,在280℃左右开始分解,在350℃左右几乎全都分解成元素Ge和H2。空气中能燃烧,燃烧时发出蓝红色火焰,但燃烧程度不如硅烷激烈。与氧或空气的混合物易爆炸。常温下在液氨中与碱金属反应。锗烷的自催化性强,一旦分解形成金属覆盖膜,就会急剧分解。因此,配管等材料的表面必须平滑。不溶于水,但可溶于次氯酸,微溶于热浓硫酸。能被硝酸分解。
甲锗烷在较高温度下时分解为锗和氢气。这种对热不稳定性被用于半导体工业中,即有机金属化学气相沉积法(MOVPE)。由于甲锗烷毒性较大,某些有机锗化合物(如异丁基锗)可以替代甲锗烷,应用于MOVPE中。
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