三氯氢硅，是一种无机物，分子量为135.45，无色透明液体。用作高分子有机硅化合物的原料，也用于仪表工业。皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，用流动清水彻底冲洗至少15分钟，就医。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟，就医。吸 入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道畅通，如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医。食 入：误服者用清水漱口，给饮牛奶或蛋清，就医。SiHCl3的贮罐如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，一旦发生泄漏，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。贮罐区因为冷却用水的需要，经常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水发生反应，产生有毒的HCl，向四周扩散，给抢险救援工作带来困难。
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